溶胶-凝胶法制备的Ba0.8Sr0.2TiO3薄膜的结构及铁电性质研究

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【摘要】

：

采用0.05mol/L的前驱体溶液,利用溶胶-凝胶法成功制备了室温下具有优良铁电性质的Ba0.8Sr-0.2TiO-3 (BST)薄膜.X射线衍射分析表明,制得的BST薄膜室温下呈四方相,场发射扫描电

【作者】

：

程建功孟祥建唐军郭少令褚君浩

【机构】

：

中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家实验室,上海,200083

【出处】

：

物理学报

【发表日期】

：

2000年5期

【关键词】

：

溶胶凝胶法法制薄膜表面柱状结构铁电性质室温下室温红外探测器焦平面列阵显微观测铁电性能剩余极化射线衍射扫描电子绝缘性能矫顽电场无裂

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采用0.05mol/L的前驱体溶液,利用溶胶-凝胶法成功制备了室温下具有优良铁电性质的Ba0.8Sr-0.2TiO-3 (BST)薄膜.X射线衍射分析表明,制得的BST薄膜室温下呈四方相,场发射扫描电子显微观测显示BST薄膜表面平整、致密、无裂纹出现,薄膜晶粒呈柱状结构、尺寸在150nm左右.电学测量表明制备的BST薄膜室温下具有优良的铁电性能.薄膜的剩余极化Pr约为3.5μC/cm2,矫顽电场Ec约为53kV/cm.薄膜的绝缘性能也较好.这为利用溶胶-凝胶法制备BST薄膜进一步研制室温红外探测器和室温红外焦平面列阵创造了条件.

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