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电极损耗对工件加工质量的影响显著，为保证微细电火花铣削的加工精度，需要对工具电极给予合理补偿。基于倒圆锥形电极端面，采用定长补偿法模型，进行了微型槽电火花分层多道铣削实验，并在此基础上采用层间正交加工轨迹以及通过机器视觉技术采集到稳定加工后的电极端部图像，进而确定合理的轨迹重叠路径。实验结果表明，此电极补偿模型能够有效的对电极损耗进行补偿，并且正交轨迹加工方法使加工时间缩短了50%，残切去除明显，获得了良好的加工精度。采用超景深显微镜观察所加工的微型槽底截面的直线度很好，加工深度偏差在2μm左右。