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详细阐述了用于纳米定位的偏振激光干涉仪的原理,并介绍了基于该偏振仪的纳米定位控制方法.该方法已由实验论证,实验位移系统的最小步长实测值为5 nm.并对系统的最小位移步长、重复性和分辨率做了详细的分析,在系统环境控制条件下适用于毫米行程位移,可应用于纳米计量和纳米加工.
偏振激光干涉仪的纳米定位系统
【摘 要】
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详细阐述了用于纳米定位的偏振激光干涉仪的原理,并介绍了基于该偏振仪的纳米定位控制方法.该方法已由实验论证,实验位移系统的最小步长实测值为5 nm.并对系统的最小位移步长
【机 构】
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中国计量学院机电工程学院,法国凡尔赛大学LISV实验室,中国计量学院计量测试工程学院
【出 处】
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中国计量学院学报
【发表日期】
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2009年2期
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