关于提高凸腔油扩散泵抽气性能的理论分析与计算

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本文从理论上分析了凸腔油扩散泵的凸腔大小对泵抽气性能的影响,并论述了凸腔大小与喷咀尺寸之间的关系,为合理设计凸腔扩散泵提供理论依据。同时,本文对提高凸腔扩散泵的最大反压强作了气体动力学的分析与计算。 In this paper, the influence of convex cavity size on pump suction performance of convex cavity oil diffusion pump is theoretically analyzed, and the relationship between convex cavity size and nozzle size is discussed, which provides a theoretical basis for the rational design of convex cavity diffusion pump. At the same time, this paper analyzes and calculates the gas dynamics of the maximum back pressure of the convex cavity diffusion pump.
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