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在不同衬底温度条件下采用RF磁控溅射法在石英玻璃上沉积Al—H共掺杂ZnO薄膜。对所有样品进行晶体结构、表面形貌、电学、光学以及室温光致发光性能分析。结果表明：随着衬底温度的升高，ZnO薄膜的结晶度增加，晶粒增大，薄膜致密度增加；薄膜表面起伏变化减小；同时，电阻率最低达到7．58×10-4Ω·cm，透过率保持在75％左右。所有ZnO薄膜样品都以本征发光为主，Al-H共掺杂在一定程度降低ZnO薄膜缺陷发光的强度；随着衬底温度的升高，ZnO薄膜的本征发光强度明显增大；同时在能量为3．45e