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SURFACE SEGREGATION EFFECTS IN AL₂O₃ IMPLANTED WITH HI

来源 :核技术：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：whoamiwh

【摘 要】

：

Implantations of 100 keV In ions to high dose of 6 ×1016 In/cm2 were performed into a-axis oriented crystals of Al2O3 held at a liquid nitrogen temperature

【作 者】

：

曹德新 D.K.Sood 

【机 构】

：

ShanghaiInstituteofNuclearRcsearchAcademiaSinica,Shanghai201800China,Microelectronics&,MaterialsT

【出 处】

：

核技术：英文版

【发表日期】

：

1990年Z1期

【关键词】

：

Surface SEGREGATION EFFECTS Ion IMPLANTED ISOTHERMAL annealing Surface segregati 

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Implantations of 100 keV In ions to high dose of 6 ×1016 In/cm2 were performed into a-axis oriented crystals of Al2O3 held at a liquid nitrogen temperature. The implantation produced about 80nm thick amorphous surface layer. Isothermal annealing in f

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