【摘 要】
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本文描述了超声显微成像技术的发展历史,检测系统的构成及检测原理,介绍了超声显微成像技术的特点和局限性,根据其特点分析了适用于超声显微成像技术的工业产品及材料.对超声显微成像技术在国内工业产品及材料的应用情况进行了简要介绍,包括半导体电子元件检测、薄型工件检测、多层复合材料检测、涂层检测等.超声显微成像技术适用于厚度较小,需要较高检测灵敏度的工业产品、薄型工件及复合材料检测.由于采用较高的检测频率,能够发现材料表面或内部存在的微小缺陷,检测灵敏度达到微米级,对于面积型缺陷如结合不良、微小裂纹等特别敏感.
【机 构】
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中国核动力研究设计院 四川成都 610213
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本文描述了超声显微成像技术的发展历史,检测系统的构成及检测原理,介绍了超声显微成像技术的特点和局限性,根据其特点分析了适用于超声显微成像技术的工业产品及材料.对超声显微成像技术在国内工业产品及材料的应用情况进行了简要介绍,包括半导体电子元件检测、薄型工件检测、多层复合材料检测、涂层检测等.超声显微成像技术适用于厚度较小,需要较高检测灵敏度的工业产品、薄型工件及复合材料检测.由于采用较高的检测频率,能够发现材料表面或内部存在的微小缺陷,检测灵敏度达到微米级,对于面积型缺陷如结合不良、微小裂纹等特别敏感.
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