【摘 要】
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彩色滤光片生产工艺中每道工序都会因设备异常或其他原因造成基板NG,本论文包含两部分:第一部分是对此部分基板NG原因进行简要分析主要分为四种显影异常、涂布异常、曝光异常以及基板表面Particle,摸索Rework工艺确认产品特性值,分别针对不同原因造成NG通过Rework清洗工艺实现半成品再生,主要分析总结基板可放置最长时间及上线跟踪,并统计9M-11M通过Rework工艺清洗后基板上线良率进行统计,最后总结Rework工艺处理产线NG基板主要问题和注意事项。第二部分是针对产线NG或不良原因调查方法进行简
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彩色滤光片生产工艺中每道工序都会因设备异常或其他原因造成基板NG,本论文包含两部分:第一部分是对此部分基板NG原因进行简要分析主要分为四种显影异常、涂布异常、曝光异常以及基板表面Particle,摸索Rework工艺确认产品特性值,分别针对不同原因造成NG通过Rework清洗工艺实现半成品再生,主要分析总结基板可放置最长时间及上线跟踪,并统计9M-11M通过Rework工艺清洗后基板上线良率进行统计,最后总结Rework工艺处理产线NG基板主要问题和注意事项。第二部分是针对产线NG或不良原因调查方法进行简
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