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采用石英做介质阻挡层，对高气压XeI^＊准分子紫外光源进行了实验研究，从放电功率、放电频率、总气压、气体配比等参数分析了光源的工作特性，其最佳工作参数为总气压320Torr、I2分压0．37％，电源频率58．7kHz。在此条件下当放电电压4．6kV、功率66W时，在距光源8．5cm处得到的紫外光辐射强度为31．2μW／cm^2。