【摘 要】
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采用真空多弧离子镀技术，使用Cr30A170（原子分数）复合靶，在不同的基体负偏压下，在不锈钢基体上制备了一系列CrAlN涂层；采用能谱仪、X射线衍射仪、扫描电子显微镜、粗糙度仪、显微硬
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采用真空多弧离子镀技术，使用Cr30A170（原子分数）复合靶，在不同的基体负偏压下，在不锈钢基体上制备了一系列CrAlN涂层；采用能谱仪、X射线衍射仪、扫描电子显微镜、粗糙度仪、显微硬度仪、摩擦磨损试验机和划痕仪等系统分析了涂层的成分、表面形貌、相结构、粗糙度、显微硬度、摩擦磨损性能和界面结合性能。结果表明：随着负偏压的增大，涂层中x（Cr）／x（Cr＋Al）的比值先增大后减小，当负偏压为150V时，该值达到最大，并与靶材成分接近；基体负偏压为200V时，涂层的表面粗糙度最大，涂层结晶度、硬度最佳，晶体
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