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【摘 要】
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在阐述投影成像光刻光瞳滤波技术原理与滤波器设计的基础上,详细分析研究了滤波成像光刻图形质量影响因素.指出影响图形质量的因素除了滤波器设计本身存在误差,主要还存在滤
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2004年9期
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