光瞳滤波相关论文
文章在简述光瞳滤波技术原理与滤波器设计的基础上,详细分析研究了影响滤波成像光刻图形质量的因素,指出影响图形质量因素主要有滤......
在显微测量领域，共焦显微镜以其独特的轴向层析成像探测能力独树一帜，但是由于受到衍射极限的限制，共焦显系统的横向分辨力仅能达到普......
导出光刻成像的计算机模拟公式，提出逆傅利叶变换卷积滤波提高光刻分辨率的原理及方法，并和光瞳滤波进行了比较。在数值孔径为０．６０的１９３μｍ深......
光瞳滤波器是应用最为广泛、最为成熟的一种远场超分辨技术。采用二元光学等技术制作的光瞳滤波器一旦加工成型，超分辨性能也随之确......
非共轴激光共焦显微技术是近年来激光共焦显微成像领域发展起来的一种新型成像方法。该成像方法将被测样品与照明光轴成一定角度放......
针对共焦拉曼系统空间分辨力提升的迫切需求,研制了一套径向偏振光瞳滤波共焦拉曼光谱显微系统(RPCRS).该系统利用径向偏振光发生......
为进一步提高部分相干投影成像系统的光刻分辨率和焦深,详细研究了光瞳滤波的基本理论,给出数学模型,进行模拟计算,取得计算结果和......
导出光刻成像的计算机模拟公式，提出逆傅利叶变换卷积滤波提高光刻分辨率的原理及方法，并和光瞳滤波进行了比较。在数值孔径为０．６０的１９３μｍ深......
该文以部分相干成像理论为基础,对光瞳滤波技术提高光刻分辨率的物理机理进行了深入的研究,提出利用模拟退火算法求解滤波器的思想......
推导出光刻成像的计算机模拟公式 ,讨论了光瞳滤波提高光刻分辨率的物理机理 ,给出了几个实验结果。提出逆傅利叶变换卷积滤波提高......
介绍了一套自行研制的用于光瞳滤波实验的投影光刻实验系统 ,其物镜光瞳处预留出放滤波器的位置 ,可方便取放滤波器。在理论分析的......
在阐述投影成像光刻光瞳滤波技术原理与滤波器设计的基础上,详细分析研究了滤波成像光刻图形质量影响因素.指出影响图形质量的因素......
针对投影光刻成像系统在数值孔径足够大时所产生的分辨力和焦深的矛盾，详细研究了光瞳滤波对投影成像对比度的改善情况，根据不同掩模......
随着纳米加工工艺技术的不断发展,具有纳米结构的器件呈现出结构日益精细、功能日趋多样的技术特征,该技术特征要求纳米结构几何尺......
本文旨在探索一种大视场局部超分辨成像系统的设计理念与方法，该系统的成像特点使其能够广泛应用于侦查、救援等领域。达到该目标的......
进入超深亚微米阶段后,集成电路制造工艺中普遍采用了亚波长光刻技术。然而随着特征尺寸逐渐接近光刻分辨率极限,制造过程中会发生......
长期以来,光学成像系统的分辨率都受到阿贝衍射极限的限制。随着纳米级加工和生物探测等领域的发展,如何设计行之有效的方案超越阿......
衍射极限限制了光学显微成像与微纳加工的分辨力。增大数值孔径或减小波长λ0可以减小衍射极限、获得横向尺寸更小的聚焦光斑,然而......
根据矢量光场衍射积分理论和离散复振幅光瞳滤波原理，通过一种由双λ／2波片和离散复振幅滤波器组成的可调谐复振幅滤波器，研究了大数......
