【摘 要】
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对32批随机样品数据进行了数学分析和处理后发现:理层图形变形片与不变形片的每片管芯数出自同一个正态总体分布N(μ,δ~2),因而具有相同的均值和方差.进一步的分析观察,所谓
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对32批随机样品数据进行了数学分析和处理后发现:理层图形变形片与不变形片的每片管芯数出自同一个正态总体分布N(μ,δ~2),因而具有相同的均值和方差.进一步的分析观察,所谓理层图形变形片的埋层图形是由于晶体的折射作用和表面不平所引起的视觉误差造成的,对制造半导体器件并无显著影响.
After 32 batches of random sample data are analyzed and processed, it is found that the number of cores per chip of the deformable and deformable sheets is the same normal distribution N (μ, δ ~ 2) Mean and variance.Further analysis and observation, the so-called layer deformation pattern of the buried layer graphics is due to the refraction of the crystal and surface roughness caused by the visual error caused no significant impact on the manufacture of semiconductor devices.
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