金刚石声表面波器件的研制

来源 :天津理工大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：lantianaaaaa

【摘要】

：

对ZnO／IDT／金石多层结构高频声表面波滤波器进行模拟设计、样件制备和测量．利用热丝化学气相沉积方法，在抛光Si基底沉积致密、光滑的CVD金刚石膜；采用磁控溅射法在金刚石薄膜上制

【作者】

：

徐晟陈希明杨晓苹杨保和

【机构】

：

天津理工大学光电信息与电子工程系

【出处】

：

天津理工大学学报

【发表日期】

：

2006年1期

【关键词】

：

声表面波多层膜结构金刚石薄膜氧化锌乐电薄膜 SAW multilayered structures diamond film ZnO piez

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

对ZnO／IDT／金石多层结构高频声表面波滤波器进行模拟设计、样件制备和测量．利用热丝化学气相沉积方法，在抛光Si基底沉积致密、光滑的CVD金刚石膜；采用磁控溅射法在金刚石薄膜上制备C轴取向的氧化钎压电薄膜．研制的ZnO／IDT／金刚石／硅结构SAW滤波器，又指换能器（IDT）指宽1．7μm，SAW滤波器频率达到1．4GHz．

其他文献

基于虚拟仪器的汽车尾气检测系统的设计

计算机技术与测试测量仪器技术的结合，出现了新的测试仪器——虚拟仪器（VI），采用虚拟仪器的软件战略是第三代自动测试系统的发展方向．本文结合VI编程语言平台LabVIEW实现了机动车

期刊

虚拟仪器LABVIEW浓度检测采集卡virtual instruments LabVIEW concentration detecting DAQ

一种新型水溶性共聚物生物降解性评价

将聚天冬氨酸与脱乙酰基壳聚糖（chitosan）进行共聚反应生成新的水溶性共聚物——一种新型阻垢剂．运用生物方法研究聚天冬氨酸壳聚糖共聚物的可降解性．将共聚物用活性污泥滤液降解

期刊

共聚物生物可降解性聚天冬氨酸脱乙酰基壳聚糖polyaspartic acid-chitosan copolymer biodegradability

高渗氯化钠羟乙基淀粉40注射液对初进高原创伤性休克大鼠的救治作用

目的：探讨高渗氯化钠羟乙基淀粉40注射液（HSH）对高原创伤失血性休克大鼠的救治作用及量效关系。方法：初进高原雄性SD大鼠30只，随机分3组，乳酸林格液（LR）组输注1．5倍失血量LR，HSH4组输注

期刊

休克出血性羟乙基淀粉高原High altitude shock Hetastarch Highland

自组织特征映射网络隐含的分形机制

自组织特征映射网络（Self-organizing map，SOM）在聚类分析中具有广泛的应用，和其他神经网络一样，SOM网络具有黑箱性质，缺乏严格的理论基础，无法对聚类过程进行分析．结合复杂系统分形

期刊

神经网络自组织分形最大流原理城市模式neural network self-organizing fractal maximum flux pr

急救流程培训在妇科新护士带教中的应用

目的探讨急救流程培训在妇科新护士带教中的作用。方法选择2010年1月至2011年12月首次轮转到妇科病房的3年内新护士40名作为试验组;2008年1月至2009年12月首次轮转到妇科

期刊

妇产科医院护士在职培训

南瓜汁恒容热过程中营养损失动力学研究

本文研究了南瓜汁在恒容热过程中胡萝卜素含量的变化，通过对一般反应速率模型与拟平方根反应速率模型比较，基于后者及Arrhenius方程建立了南瓜汁在恒容热过程中胡萝卜素损失动

期刊

南瓜汁加热胡萝卜素营养损失动力学模型pumpkin juice thermal carotene nutritional loss ki

普伐他汀治疗变异型心绞痛33例临床观察

目的：观察普伐他汀治疗变异型心绞痛的临床疗效。方法：66例变异型心绞痛患者随机分为对照组（n=33）和治疗组（n=33），观察两组临床疗效、治疗前后血脂变化及心血管事件发生情况。结果：治

期刊

心绞痛变异型普伐他汀血脂

引入Wordnet的本体整合技术的研究

本体之间的整合操作，是解决本体重用问题的有效途径．在创建本体的过程中，尽管在同一领域内，由于设计者有着不同的视角，使得本体间的交互与重用变得非常困难．本文首先对整合问题中涉

期刊

OWLWORDNETS—Match整合OWL Wordnet S-match integrating

炎症反应在胃黏膜防御中的作用

炎症是高等动物机体对各种损伤性刺激的一种天然防御反应，它主要发生在有血管分布的组织内．其主要作用是限制损伤、促进损伤组织的修复等。在胃肠道，炎症反应是黏膜抵御内源性和

期刊

炎症反应防御反应胃黏膜胃肠道黏膜损伤组织修复过程损伤性高等动物

射频磁控溅射法LiNbO3薄膜的制备及其影响因素研究

采用射频磁控溅射法在Si（111）和Si（100）上制备LiNbO3薄膜.通过XRD技术探讨了硅基片取向和所制备的薄膜的取向之间的联系,研究了不同靶材对薄膜的影响,讨论了热处理温度、工艺和所

期刊

LiNbO3薄膜射频磁控溅射薄膜取向LiNbO3 film radiofrequency sputtering technique orientat

金刚石声表面波器件的研制

与本文相关的学术论文