【摘 要】
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采用溶胶‐凝胶(Sol‐Gel)法制备Ni Zn铁氧体透明吸波薄膜,重点研究了溶胶前躯体的配制、匀胶旋涂工艺以及高低温退火过程对Ni Zn铁氧体薄膜结构和性能的影响,系统研究了铁氧
【机 构】
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中国电子科技集团公司第三十三研究所,电磁防护材料及技术山西省重点实验室,
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采用溶胶‐凝胶(Sol‐Gel)法制备Ni Zn铁氧体透明吸波薄膜,重点研究了溶胶前躯体的配制、匀胶旋涂工艺以及高低温退火过程对Ni Zn铁氧体薄膜结构和性能的影响,系统研究了铁氧体透明薄膜制备和退火工艺,结果表明:不同厚度的薄膜,通过调整升温速率、退火温度和时间,可以改变样品结晶度和残余应力;合理的退火处理工艺为:以2.5℃/min的升温速率升到700℃,保温40min后自然冷却到室温。同时研究了Ni Zn铁氧体透明薄膜的可见光透过率和雷达波(X波段)损耗特性。
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