【摘 要】
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用多面体和光电平行光管对圆刻机进行检测,用谐波分析法对分度误差的来源进行分析。文中对以面数少的多面体代替面数多的多面体进行多点检测的可能性作了探讨。最后以两台不
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用多面体和光电平行光管对圆刻机进行检测,用谐波分析法对分度误差的来源进行分析。文中对以面数少的多面体代替面数多的多面体进行多点检测的可能性作了探讨。最后以两台不同精度的圆刻机的测量结果来说明。
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