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用于光电子器件的低成本、高反射率SOR衬底
用于光电子器件的低成本、高反射率SOR衬底
来源 :城市道桥与防洪 | 被引量 : 0次 | 上传用户:heyzol
【摘 要】
:
报道了一种包含一薄层单晶硅和隐埋Si/SiO2布拉格反射器的SOR衬底.这种可用于光电子器件的衬底是由硅基乳胶粘接和智能剥离技术研制而成的.在垂直光照条件下,这种SOR衬底在1.3μm
【作 者】
:
李成
杨沁青
王红杰
王启明
【机 构】
:
中国科学院半导体研究所
【出 处】
:
城市道桥与防洪
【发表日期】
:
2004年期
【关键词】
:
SOR
SiO2/Si布拉格反射器
智能剥离技术
光电子器件
光探测器
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报道了一种包含一薄层单晶硅和隐埋Si/SiO2布拉格反射器的SOR衬底.这种可用于光电子器件的衬底是由硅基乳胶粘接和智能剥离技术研制而成的.在垂直光照条件下,这种SOR衬底在1.3μm处的反射率接近100%。
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