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在改进的电子回旋共振（ECR）等离子体增强金属有机物化学汽相沉积（ECR-PEMOCVD）装置（ESPD-U）中，以氮等离子体为氮源，三乙基镓（TEG）为镓源，在蓝宝石（α-Al2O3）衬底上生长氮化镓（GaN）薄膜。在不同的温度、氮氢流量下，分别对α-Al2O3衬底进行等离子体清洗和氮化，并用RHEED实时监测。通过对RHEED图像的分析，得出纣底清洗和氮化的最佳条件。