【摘 要】
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相移光栅是光子集成电路的基本元件之一，被广泛应用于多种领域。与传统的反射型相移光栅相比，反向耦合型相移光栅无需光环形器，易实现大规模集成。本文提出一种高Q值、超窄带宽的反向耦合型相移光栅。利用光栅的Moire效应，通过将不同周期的波导光栅组合在一起，实现了Q值为12893,3d B凹陷带宽为0.12 nm的反向耦合型相移光栅。该相移光栅具有尺寸小、Q值高、凹陷带宽窄等优势，能广泛应用于生物传感、激
【基金项目】
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重庆市自然科学基金面上项目（cstc2019jcyj-msxmX0597）； 上海交通大学区域光纤通信网与新型光通信系统国家重点实验室开放基金（2021GZKF005）；
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相移光栅是光子集成电路的基本元件之一，被广泛应用于多种领域。与传统的反射型相移光栅相比，反向耦合型相移光栅无需光环形器，易实现大规模集成。本文提出一种高Q值、超窄带宽的反向耦合型相移光栅。利用光栅的Moire效应，通过将不同周期的波导光栅组合在一起，实现了Q值为12893,3d B凹陷带宽为0.12 nm的反向耦合型相移光栅。该相移光栅具有尺寸小、Q值高、凹陷带宽窄等优势，能广泛应用于生物传感、激光器、波长滤波等领域。
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