【摘 要】
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终端光学组件中的靶镜姿态是保证激光打靶精度的主要因素之一,为了实现微米级的打靶精度,需要利用调焦模块中的调平机构对靶镜姿态进行调节。针对终端光学组件在靶球上倾斜安
【机 构】
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上海大学机电工程与自动化学院,中国科学院上海光学精密机械研究所
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终端光学组件中的靶镜姿态是保证激光打靶精度的主要因素之一,为了实现微米级的打靶精度,需要利用调焦模块中的调平机构对靶镜姿态进行调节。针对终端光学组件在靶球上倾斜安装的实际情况（±45°）,对三顶三拉调平机构在等腰三角形支承布局下的螺栓组进行了受力分析,得到归一化等效拉力与特征尺寸比值的关系方程和关系图线;利用ANSYS软件对调平结构和调节平板进行了相应约束下的变形分析;利用星点检验法对实际研制的调焦模块进行了星点图检验。结果表明,特征尺寸比值H/l1存在一个特定的数值1/2,它区分了螺
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