【摘 要】
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在集成电路制造业,对关键层次的CD（Critical Dimension,关键尺寸）测量是控制质量的重要手段。广泛采用统计过程控制SPC（Statistical Process Control）系统来控制工艺稳定性。介绍
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在集成电路制造业,对关键层次的CD（Critical Dimension,关键尺寸）测量是控制质量的重要手段。广泛采用统计过程控制SPC（Statistical Process Control）系统来控制工艺稳定性。介绍了扫描电镜的基本工作原理和常见问题,通过增加dummy site及选择测量位置的方法降低充电效应,以提高测量图形质量和CD测量精度。利用方差分析优化测量设备参数,并利用回归分析的方法对不同测量机台进行匹配,最终达到R^2=0.99,实现了不同测试机台的匹配,提高了孔层次的CPK（Proce
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