微盘谐振器的温度传感特性研究

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采用传输矩阵法推导了微盘谐振器的传输方程,利用三维有限元软件建立了微盘谐振器的物理模型并对其电场分布、输出光谱和相位变化进行了模拟。分析了微盘结构参数对传输特性的影响,并基于该物理模型参数研究了温度传感特性。结果表明,当微盘与直波导的间距在一定范围内变化时,输出光谱会发生变化,而输出端口相位变化不大;器件消光比可达30 dB,灵敏度最高为45 pm/℃。与普通微环谐振器相比,微盘具有更高的集成度、品质因数和更宽的自由光谱范围。
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