【摘 要】
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根据描述硅原子表面扩散现象的理论动力学模型,采用水平集模块,利用COMSOL Mul-tiphysics(R)软件对空洞层上硅(SON)结构的形成过程进行模拟.通过改变硅沟槽的宽度、深度和间距等尺寸,仿真分析了这些参数对SON结构形成的影响.利用微电子机械系统(MEMS)工艺制备了初始微沟槽结构,观测了SON结构的形成过程.根据仿真结果与实验结果的对比,二者具有比较好的一致性,验证了理论模型的正确性.该研究提供了一种使用仿真软件来模拟SON结构形成过程的方法,使精确预测和控制SON结构的特征尺寸成为可能,
【机 构】
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江苏大学机械工程学院,江苏镇江212013
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根据描述硅原子表面扩散现象的理论动力学模型,采用水平集模块,利用COMSOL Mul-tiphysics(R)软件对空洞层上硅(SON)结构的形成过程进行模拟.通过改变硅沟槽的宽度、深度和间距等尺寸,仿真分析了这些参数对SON结构形成的影响.利用微电子机械系统(MEMS)工艺制备了初始微沟槽结构,观测了SON结构的形成过程.根据仿真结果与实验结果的对比,二者具有比较好的一致性,验证了理论模型的正确性.该研究提供了一种使用仿真软件来模拟SON结构形成过程的方法,使精确预测和控制SON结构的特征尺寸成为可能,为SON结构的制备提供参考.
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