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<正> 在硅单晶的各种生产手段中,直拉法是最主要的、最普遍采用的方法,它是由丘克劳斯基最早发明的,通常用CZ表示。目前世界上大约有70％的硅单晶是用CZ法生产的。本文所要介绍的磁场直拉法(MCZ)是近几年国际上新出现的一种硅单晶制备方法。最早宣称对MCZ法进行研究的是日本索尼公司。
硅单晶制备的磁场直拉法新工艺—MCZ
【摘 要】
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<正> 在硅单晶的各种生产手段中,直拉法是最主要的、最普遍采用的方法,它是由丘克劳斯基最早发明的,通常用CZ表示。目前世界上大约有70％的硅单晶是用CZ法生产的。本文所要介绍
【机 构】
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上海电子材料一厂
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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1987年03期
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