【摘 要】
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术文通过实验论述了采用脉冲大功率激发物激光器的远紫外光刻。在这种光刻加工中采用20nsec的激光照射,在PMMA抗蚀剂层上制出了具有高分辨率的亚微米图形。
The article dis
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术文通过实验论述了采用脉冲大功率激发物激光器的远紫外光刻。在这种光刻加工中采用20nsec的激光照射,在PMMA抗蚀剂层上制出了具有高分辨率的亚微米图形。
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