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超高真空测试设备配备的能量分析仪可分析材料表面发射的二次电子能谱，区分真正的二次电子和背散射电子，并通过对能谱积分求得真二次电子系数。本文以纯净银箔材料为例，将电流法测试的二次电子系数（SEY）与能谱分析结果进行对比，误差不超过6%，验证了电流法测试的正确性，并且分析了误差产生的原因。
纯银材料的二次电子发射能谱研究
【摘 要】
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超高真空测试设备配备的能量分析仪可分析材料表面发射的二次电子能谱，区分真正的二次电子和背散射电子，并通过对能谱积分求得真二次电子系数。本文以纯净银箔材料为例，将电流法
【机 构】
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西安空间无线电技术研究所空间微波技术重点实验室
【出 处】
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太赫兹科学与电子信息学报
【发表日期】
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2014年1期
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