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在多晶硅制造业改良西门子工艺中,氢气中含有少量的氯硅烷气体,根据开工现场当时的运行工况,对氢气压缩机进行了改造思路的探讨。
含氯硅烷气体类氢压缩机的改造思路
【摘 要】
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在多晶硅制造业改良西门子工艺中,氢气中含有少量的氯硅烷气体,根据开工现场当时的运行工况,对氢气压缩机进行了改造思路的探讨。
【机 构】
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江苏省南京市
【出 处】
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广东科技
【发表日期】
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2011年4期
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