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综述了感湿材料研究现状及湿敏材料感湿机理。介绍了二氧化硅薄膜的几种方法,通过实验研究成膜的主要影响因素,对成膜工艺条件进行了一些改良。
感湿元件制备工艺
【摘 要】
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综述了感湿材料研究现状及湿敏材料感湿机理。介绍了二氧化硅薄膜的几种方法,通过实验研究成膜的主要影响因素,对成膜工艺条件进行了一些改良。
【机 构】
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陕西科技大学,西北工业学校
【出 处】
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中小企业管理与科技(中旬刊)
【发表日期】
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2016年11期
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