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分析了纳米重定位系统的常用重定位技术，建立了探针悬臂偏移量模型，探针针尖偏差前馈补偿和压电陶瓷H∞控制的模型。通过对其标准化，求出控制器K，并对其合理性进行分析。最后，进行计算机仿真，结果表明，所设计的系统具有良好的跟踪、重定位能力。
AFM探针重定位系统H∞控制器设计与分析
【摘 要】
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分析了纳米重定位系统的常用重定位技术，建立了探针悬臂偏移量模型，探针针尖偏差前馈补偿和压电陶瓷H∞控制的模型。通过对其标准化，求出控制器K，并对其合理性进行分析。最后，进行计算机仿真，结果表明，所设计的系统具有良好的跟踪、重定位能力。
【机 构】
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上海大学机电工程与自动化学院，上海 200072
【出 处】
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中国系统仿真学会成立20周年大会暨学术年会
【发表日期】
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2009年3期
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