【摘 要】
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考虑热吸收系数随温度变化的因素，以硅为对象进行了激光弯曲模拟和实验。借助APDL语言编写了激光弯曲成形的仿真程序，对单脉冲作用过程进行模拟，以得到单点脉冲周期内的温度分布
【机 构】
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大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室
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考虑热吸收系数随温度变化的因素，以硅为对象进行了激光弯曲模拟和实验。借助APDL语言编写了激光弯曲成形的仿真程序，对单脉冲作用过程进行模拟，以得到单点脉冲周期内的温度分布；采用NiCr／NiSi合金薄膜热电偶对单脉冲作用过程中的温度分布进行测量，对比上述的温度模拟与测量结果，修正硅材料的激光综合吸收系数为0．82。采用有限元分析软件实现了硅片的脉冲激光弯曲成形的仿真和模拟，并对硅片多次连续扫描的弯曲模拟与弯曲实验进行对比，误差仅为0．1°，验证了仿真程序的有效性，为硅片的激光弯曲成形提供了理论与
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