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根据系统需求以及半导体制冷器的原理,对TCU半导体制冷器模块进行了分析设计计算。TCU半导体制冷器一般精度系列的温控精度在±0.05~±0.2℃之间,主要用来对电机循环水进行温度控制;高精度系列的温控精度为±0.01℃,主要用来对物镜循环水进行温度控制。
半导体制冷器设计
【摘 要】
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根据系统需求以及半导体制冷器的原理,对TCU半导体制冷器模块进行了分析设计计算。TCU半导体制冷器一般精度系列的温控精度在±0.05~±0.2℃之间,主要用来对电机循环
【机 构】
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上海微电子装备（集团）股份有限公司
【出 处】
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机电信息
【发表日期】
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2019年15期
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