【摘 要】
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本文综合分析了立方氮化硼(c-BN)膜的制备方法,介绍了c-BN膜的结构及其机械、电学、光学和热学性能。最后总结了c-BN膜在机械和电子领域的应用概况。
In this paper, the preparation metho
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本文综合分析了立方氮化硼(c-BN)膜的制备方法,介绍了c-BN膜的结构及其机械、电学、光学和热学性能。最后总结了c-BN膜在机械和电子领域的应用概况。
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