【摘 要】
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在接近式光刻中，衬底上的光强分布主要是受掩模与衬底间的间隙引起的衍射影响。一般的模拟分析中，都是利用菲涅尔近似模型进行分析。根据光的标量衍射理论，分析了菲涅尔近似模拟
【机 构】
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中国科学技术大学国家同步辐射实验室,复旦大学同步辐射研究中心
【基金项目】
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国家重点基础研究发展规划(973)资助项目(G1999033109)
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在接近式光刻中，衬底上的光强分布主要是受掩模与衬底间的间隙引起的衍射影响。一般的模拟分析中，都是利用菲涅尔近似模型进行分析。根据光的标量衍射理论，分析了菲涅尔近似模拟的误差起源，并对菲涅耳近似模型进行了修正，得到了更加准确的类菲涅耳近似模型，对这两种模型的模拟结果进行了比较。结果表明，即使在比较接近掩模表面或非傍轴条件下，类菲涅尔近似模型也能够得到比较精确的模拟结果。
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