热式气体质量流量计的仿真和研究

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传统的天然气流量计主要采用容积计量,容易受天然气压力和温度的影响,而且不能反映天然气的成分变化(质量变化)。另外,现有计量仪表不能很好地计量出较小的流量,对较大的流量又存在饱和等问题,严重影响了计量的准确性。本文介绍一种根据传热原理,基于MEMS技术的传感器系统。利用MEMS技术设计的传感器系统体积小、测量准确度高、 Traditional gas meters are mainly volumetric, susceptible to natural gas pressure and temperature, and do not reflect the compositional changes (mass changes) of natural gas. In addition, the existing measuring instruments can not measure the small flow well, and there is the problem of saturation of the larger flow, which seriously affects the accuracy of the measurement. This article presents a sensor system based on MEMS technology based on heat transfer principle. The sensor system designed with MEMS technology is small in size, high in measurement accuracy,
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