论文部分内容阅读
在不同的工艺条件下,利用复合磁控溅射镀膜机双直流溅射靶,镀制了大量的试验样品,通过XP测定不同工艺参数条件下三个试样膜层的硬度。经过仔细分析发现,磁场的分布、靶基距和温度对薄膜的硬度影响很大。
半闭环磁场中磁控溅射镀膜工艺对TiN硬度的影响
【摘 要】
：
在不同的工艺条件下,利用复合磁控溅射镀膜机双直流溅射靶,镀制了大量的试验样品,通过XP测定不同工艺参数条件下三个试样膜层的硬度。经过仔细分析发现,磁场的分布、靶基距和
【机 构】
：
北京机械工业自动化研究所,北京航空航天大学,北京旭硝电子玻璃有限公司
【出 处】
：
航天制造技术
【发表日期】
：
2006年03期
其他文献
针对阶梯轴的车削加工,从挠曲线微分方程导出变截面简支梁的弯曲变形表达式,并以此计算阶梯轴的切削变形,通过变形量计算说明工艺参数选择的重要性。当阶梯轴的刚度较小时,按
作为新闻发言人，王彤时常穿梭于各大媒体之间，当你在网上搜索“新闻发言人王彤”几个字时，海量的新闻或专访便会出现在屏幕上，那些几乎全部是以“公关总监王彤在接受记者采访时表
2010年5月,胡锦涛总书记在全国人才工作会议上发表重要讲话,强调切实做好人才工作、加快建设人才强国,是推动经济又好又快发展、实现全面建设小康社会奋斗目标的重要保证,是
在ANSYS Workbench协同优化分析设计软件平台环境下，针对某环形气瓶压力容器的结构几何尺寸如截面壁厚、环形半径、椭圆截面长短轴、承受的内压载荷等因子对该气瓶强度、刚度
近期，北京市顺义区召开职业教育与航空类企业校企对接座谈会。顺义区副区长燕瑛、区人社局局长张尚强、北京现代技术职业学院院长丁久库及首都机场13家大型航空类企业负责人出