【摘 要】
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由于尺度效应带来的大变形问题,两端固支梁具有的硬弹簧效应将引发MEMS陀螺的非线性“达芬”振动,影响陀螺的线形度和稳定性.本文设计了一种新型高线性度弓形支撑梁,并通过数
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由于尺度效应带来的大变形问题,两端固支梁具有的硬弹簧效应将引发MEMS陀螺的非线性“达芬”振动,影响陀螺的线形度和稳定性.本文设计了一种新型高线性度弓形支撑梁,并通过数值仿真证明了弓形梁在大变形条件下也能保证力与位移转换环节间的线性关系.基于该高线性度弓形支撑梁创新性的设计了一种双级解耦MEMS陀螺,在常压下,该新型MEMS陀螺的标度因子非线性度为0.08％ (FS),偏置不稳定性为14°/h,测试结果表明,高线性度弓形支撑梁能够较好的提升MEMS陀螺的线性度与稳定性.
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