一种新型的Pt-NiO混合敏感膜全固态溶解CO2传感器及其特性测量

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【摘要】

：

为了方便的测量溶解二氧化碳(CO2),利用室温下NiO对CO2的敏感特性,基于碳糊成膜方法,研制了一种新型全固态溶解CO2传感器.文章中,分析了传感器的结构和NiO敏感膜对CO2的敏感机理,测量了不同工作点和不同温度下传感器输出电压ΔVrs随着溶解CO2浓度变化的响应特性.实验结果显示,基于MISFET结构的Pt-NiO混合敏感膜溶解CO2传感器可以在室温下方便的检测溶解CO2浓度.

【作者】

：

岳钊牛文成谢林宏权伍明罗

【机构】

：

南开大学信息技术科学学院微电子系

【出处】

：

电子学报

【发表日期】

：

2007年05期

【关键词】

：

溶解CO2传感器 Pt-NiO混合敏感膜 MISFET结构 dissolved CO2 sensor Pt-NiO mixed sensing film MIS

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