【摘 要】
:
用分子动力学模拟方法研究样品温度对入射能量150 eV、45°入射的SiF3+与SiC表面的相互作用过程的影响.模拟中使用Graves等开发的用于Si-F-C体系的Tersoff-Brenner势能函数.
【机 构】
:
贵州大学PSI研究所MEMS课题组,贵阳,550025贵州大学理学院,贵阳,550025;贵州大学PSI研究所MEMS课题组,贵阳,550025;四川大学原子核科学技术研究所辐射物理及技术教育部重点实
论文部分内容阅读
用分子动力学模拟方法研究样品温度对入射能量150 eV、45°入射的SiF3+与SiC表面的相互作用过程的影响.模拟中使用Graves等开发的用于Si-F-C体系的Tersoff-Brenner势能函数.模拟结果显示,所有温度下入射SiF3+与SiC表面相互作用后全部发生分解,绝大多数分解产物沉积于SiC表面.随Si和F在表面的沉积,SiC表面形成SixFyCz反应层.在温度300、500、700、900 K时,SiC中Si的刻蚀率分别为0.061、0.080、0.085、0.104,C的刻蚀率分别为0.019、0.030、0.034、0.039.SiC中Si比C更易被刻蚀,这和实验结果一致.主要含Si刻蚀产物为SiF2,含C刻蚀产物为SixFyCz.主要的刻蚀机制为化学增强的物理溅射.
其他文献
目的:研究在宫颈癌化疗患者中应用综合护理干预对生存质量的影响.方法:在本院2019年3月至2019年11月期间进行宫颈癌化疗的患者中选取78例,分为两组,每组各有39例.参照组实施
目的:本文主要针对在神经外科脑血栓患者手术护理安全中细节管理的应用价值进行评估,以期为进一步提高神经外科脑血栓患者手术护理水平,保障患者生命安全提供参考.方法:采用
利用等离子束与激光束复合热源喷涂工艺(Laser Hybrid PlasmaSpraying,LHPS)在38CrMoAl基体上制备出了WC-10Co4Cr涂层,对涂层的显微硬度、结合强度、耐滑动摩擦磨损性能进行
目的:分析脊柱创伤陪检转运的护理方法,总结护理结果.方法:选择2017年8月-2018年9月接受的64例脊柱创伤患者作为对象,依据不同护理方式的差异分组,分别是对照组和观察组,分别
有较多的学者研究表示,大多数的直肠癌患者需进行永久性结肠造口,而永久性造成导致患者的排泄途径发生改变,给患者的日常生活造成不便,导致患者生活质量减低,一定程度上对患
数学概念是数学知识的高度抽象和概括,数学概念教学是数学学习的重要环节。优化数学教学的效益,必然离不开概念教学。因此,我们数学教师在平时的教学中,需要以数学概念教学为
小学数学合作学习引入微课教学,可以让合作学习更有趣、更直观、更深入,所以,在学生进行数学小组合作学习时,要适时、适当地用微课来辅助教学,从而更好地提升学生的数学素养
目的:分析对于血液透析患者运用舒适化服务模式的护理价值.方法:对照组期间提供常规护理,同期观察组则改为舒适化服务护理.结果:两组入组时主观舒适度、HAMA、HAMD量表评分比
初中学生正处于心理成长的阶段,对知识的需求量是史无前例的,最为关注的就是学以致用的知识.然而,数学却是理论性较强的学科,实践证明,由于不适应初中数学教法,导致很多学生
节能是涉及人类可持续发展和生存的大课题,目前,建筑物围护结构的保温技术通过人们大量的工程实践,已形成一个新的建筑门类和产业.在无数有识之士的共同努力下,很多好的保温