【摘 要】
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人们通常应用10～10~2×keV的电子束来分析表面元素成份,并分为定性分析和定量分析。定性分析是要确定表面的元素组成;定量分析是要确定构成表面元素的浓度和相对比例.近年来,
【机 构】
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四川大学原子核科学技术研究所rrrrrrrrn,四川大学原子核科学技术研究所rrrrrrrrn,四川大学原子核科学技术研究所
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人们通常应用10～10~2×keV的电子束来分析表面元素成份,并分为定性分析和定量分析。定性分析是要确定表面的元素组成;定量分析是要确定构成表面元素的浓度和相对比例.近年来,质子荧光分析(PLXE)技术有一个重要的进展,那就是应用改变能量或改变入射角的方法,由一组被测元素的特微X射线计数来测定该元素在表面深度的分布信息。该方法的基本原理是,如果N(E)代表x射线探测器的计数,c(x)为待测痕量元素的浓度分布,则N(E)和C(x)之间有一个积分关系:
People usually use the 10 ~ 10 ~ 2 keV electron beam to analyze the surface elemental composition, and is divided into qualitative analysis and quantitative analysis. Qualitative analysis is to determine the elemental composition of the surface; Quantitative analysis is to determine the concentration and relative proportions of the elements that make up the surface. In recent years there has been an important advance in PLXE technology that uses either energy-altering or changing angle of incidence Method, a set of measured elements by the special X-ray count to determine the elements in the surface depth distribution information. The basic principle of this method is that if N (E) represents the count of the x-ray detector and c (x) is the concentration distribution of the trace elements to be measured, there is an integral relationship between N (E) and C :
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