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硅的位错核心结构无悬挂键
硅的位错核心结构无悬挂键
来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:flurryzhang
【摘 要】
:
本文应用物理学平衡状态下能量最低的基本原理,通过分析透射电镜晶格象,制作了90°、30°分位错及Cotterll位错等一系列的模型,说明硅中位错核心无悬挂键。
【作 者】
:
昝育德
【机 构】
:
中国科学院半导体研究所
【出 处】
:
半导体学报
【发表日期】
:
1998年6期
【关键词】
:
硅
位错核心
结构
无悬挂键
Crystal lattices
Dislocations (crystals)
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本文应用物理学平衡状态下能量最低的基本原理,通过分析透射电镜晶格象,制作了90°、30°分位错及Cotterll位错等一系列的模型,说明硅中位错核心无悬挂键。
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