【摘 要】
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着重介绍原子力显微镜力传感器的要求和力传感器设计的有关问题，并提供一种用图表设计结构尺寸的方法。
It focuses on the requirements of AFM force sensor and the probl
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着重介绍原子力显微镜力传感器的要求和力传感器设计的有关问题，并提供一种用图表设计结构尺寸的方法。
It focuses on the requirements of AFM force sensor and the problems of force sensor design, and provides a method to design the structure size by chart.
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