【摘 要】
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上海光学仪器研究所于1988年初试制成JFS—G型光栅位移传感器,该装置改变了以往的零位光栅设计方法,采用“积分型总极值”的最优方法进行零位光栅结构设计,对于机械
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上海光学仪器研究所于1988年初试制成JFS—G型光栅位移传感器,该装置改变了以往的零位光栅设计方法,采用“积分型总极值”的最优方法进行零位光栅结构设计,对于机械
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