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二氧化硅与气相氟化氢的反应和与氢氟酸的反应不同,当温度高于100℃时,气相氟化氢与裸露的二氧化硅无明显反应,当二氧化硅表面涂上一层特殊聚合物膜时,反应可很快发生。本文在实验的基础上解释了这一具有应用价值的现象。认为在高温下二氧化硅与氟化氢反应需要有一种诱蚀剂存在,诱蚀剂—般为氢键接受体,水不是有效的诱蚀剂,聚合物膜是诱蚀剂的载体和防止诱蚀剂逃逸的栅栏。