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期刊论文
纳米晶体TiO2多孔膜的制备
纳米晶体TiO2多孔膜的制备
来源 :光电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:kkhaizi
【摘 要】
:
采用电子束蒸发方法成功制备了用于光电变色器件的纳晶多孔结构TiO2薄膜,借助于俄歇仪(AES)和原子力显微镜(AFM)分析了制备条件对薄膜的表面形貌、粒径大小及化学计量比的影
【作 者】
:
唐洁影
张旭苹
孟莉莉
【机 构】
:
东南大学微电子机械系统教育部重点实验室,南京大学光通信工程研究中心
【出 处】
:
光电子技术
【发表日期】
:
2003年4期
【关键词】
:
纳米晶体
TiO2多孔膜
电子束蒸发
光电变色
nanocrystalline
titanium oxide th in film
electron eva
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采用电子束蒸发方法成功制备了用于光电变色器件的纳晶多孔结构TiO2薄膜,借助于俄歇仪(AES)和原子力显微镜(AFM)分析了制备条件对薄膜的表面形貌、粒径大小及化学计量比的影响.最终给出了制备光电变色器件用纳晶多孔结构TiO2薄膜的工艺参数.
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