论文部分内容阅读
给出了圆筒形微空心阴极的3维流体方程组及其稳态的差分方程和合理的边界条件，并利用计算机模拟计算，得出了He放电形成的粒子密度、电子能量、电场及电势分布。讨论了在阴极孔径为240360gm，气压6666．1～13332．2Pa的范围内放电参量的变化规律：固定电压和气压时，阴极孔径减小，负辉区重合越多；固定阴极孔径和气压时，气压升高，带电粒子密度随着气压增加而增加。结果表明放电参量强烈依赖阴极孔径和气压。