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中国科学院光电技术所研制成功一种新型3米长光栅复制光刻机．这是该所继成功研发URE-2000系列大面积曝光机后．创新研发的义一款新型精密光刻设备。
新型3米长光栅复制光刻机研制成功
【摘 要】
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中国科学院光电技术所研制成功一种新型3米长光栅复制光刻机．这是该所继成功研发URE-2000系列大面积曝光机后．创新研发的义一款新型精密光刻设备。
【出 处】
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军民两用技术与产品
【发表日期】
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2009年7期
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