长光栅相关论文
理论与实验表明,小角度的测量可通过长光栅旋转来实现.建立在傅立叶光学理论基础上的分析与实验结果是一致的.采用本方法制成的精......
针对长光栅测量系统的误差特点提出了一种实用的综合修正方法.通过光电显微镜、线纹尺、数据拟合工具将光栅位移长度溯源到激光波......
当代实用技术我国精密仪器的新突破GS-1型光栅数显表通过鉴定GS—且型光栅数显表由上海市黄清区技术发展中心组织科技人员,自去年5月起,历经......
<正> 0 前 言 精密计量长光栅为核心的光栅精密位移传感器是高技术领域中迅速发展的新兴技术。它涉及光学、精密机械、微电子技术......
根据双频激光干涉测量原理,针对进口设备HP5528激光干涉仪不能进行动态检测的缺点,提出了一种改进HP5528激光干涉仪并实现高精度长光......
长光栅数显表5μm分辨力的实现方法张艺(青岛经济技术开发区电子技术公司,青岛266071)长光栅数显表的分辨力很高。数显表中显示10μm、1μm,末位采用......
介绍了以长、圆光栅副为检测元件,步进电机为驱动部件,8098单片机为核心的滚珠丝杠导程误差的检测系统。误差计算采用分频比相法,分频......
中国科学院光电技术所研制成功一种新型3米长光栅复制光刻机.这是该所继成功研发URE-2000系列大面积曝光机后.创新研发的义一款新型......
在不需要任何先验知识的情况下,无论误差分布形式如何,直接利用实验数据对光栅测量系统建立径向基函数(RBF)神经网络模型,仿真和实......
本文叙述用两个或两个以上光栅读数头和一个或一个以上的短光栅尺组成的光栅测长系统。采用光栅信号细分后的脉冲相互切换计数技术......
近日,一种新型“3米长光栅复制光刻机”在中科院光电技术所研制成功。这是该所继成功研发URE-2000系列大面积曝光机后创新研发的一......
本文给出了一种供单坐标测量仪数字化技术改造用的一种新型长光栅读数头的安装座。与现有技术相比,该安装具有结构简单,零件数量少和......
本文首先概要说明了长光栅位移传感器的工作原理和主要技术参数的选择方法 次说明了大型工具显微镜数字化技术改造的设计方案,以及......
理论与实验表明,小角度的测量可通过长光栅旋转来实现。建立在傅立叶光学理论基础上的分析与实验结果是一致的。采用本方法制成的精......
动态测量中的温度变化会使测量结果产生温度误差。采用插入高精度标准信号的误差实时分离方法无法将温度误差从测量信号中分离出来......
本文介绍了一种长光栅副相对旋转测角的新技术。建立在付立叶学光理论基础上的分析与实验结果是一致的。采用本方法与现代微机技术......
<正> 当ε=0,θ=0时,即两光栅节距相等,栅线平行,此时两光栅线纹重合部分内的亮度成为均匀一致,不能同时看到明条纹和暗条纹,由式(......
由于滚珠丝杠具有摩擦力小、传动性能高,且具有将圆周运动变为直线运动以及将直线运动变为圆周运动的特点,因此滚珠丝杠在目前已广......
针对人工测量球笼效率低、难度大、精度不足等缺点,研制了一台中心高及偏心测量仪。该仪器采用立式结构,主要由机械系统、测控系统......
精密孔径测量仪是一台以长光栅为标准,利用光电瞄准技术进行非接触绝对测量的高精度测长仪器;主要用于测量内孔直径,还可以用于测量轴......
中科院光电技术研究所为满足我国机电一体化和传统机床改造的需要,先后开发了SX-5和SX-6两个系列长光栅线位移数字测量系统。该系......
0 前 言 精密计量长光栅为核心的光栅精密位移传感器是高技术领域中迅速发展的新兴技术。它涉及光学、精密机械、微电子技术、感......