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半导体工业的发展的关键在于设备技术的成熟,设备可靠性分析与改善尤为重要。文章首先概述了半导体加工过程,之后介绍了半导体封装技术及设备,最后提出了半导体封装设备的可靠性改善设计。
论半导体封装生产设备可靠性改善
【摘 要】
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半导体工业的发展的关键在于设备技术的成熟,设备可靠性分析与改善尤为重要。文章首先概述了半导体加工过程,之后介绍了半导体封装技术及设备,最后提出了半导体封装设备的可
【机 构】
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上海新进半导体制造有限公司
【出 处】
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装备制造技术
【发表日期】
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2012年5期
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