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氮化硅工艺的特点以及立式炉各个系统的工作原理。分析氮化硅立式炉颗粒频繁超标的问题,通过设备改造来提升机台颗粒表现,同时总结了近几年的设备使用以及维护经验。
氮化硅立式炉硬件改造提升颗粒表现
【摘 要】
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氮化硅工艺的特点以及立式炉各个系统的工作原理。分析氮化硅立式炉颗粒频繁超标的问题,通过设备改造来提升机台颗粒表现,同时总结了近几年的设备使用以及维护经验。
【机 构】
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新型功率半导体器件国家重点实验室
【出 处】
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设备管理与维修
【发表日期】
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2017年12期
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