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采用反应磁控溅射仪制备一系列不同铝含量(0~38.6%，摩尔分数)的W1.xAlxN复合膜。利用EPMA、XRD、XPS、纳米压痕仪、SEM及HRTEM等对膜组成、显微组织、力学及抗氧化性能进行表征，研究Al含量对WAlN膜显微组织和抗氧化性能的影响。结果表明，WN膜为面心立方结构，W1.xAlxN膜由面心立方W(Al)N和六方纤锌矿结构AlN组成，具有很强的(111)和(200)取向。其硬度随Al含量增加先增大后减小。当Al含量为32.4%(摩尔分数)时硬度达到最大值，为36GPa。与WN相比，W1.x